渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

　　是由動葉輪與靜葉輪組合而成，比擴散泵節(jié)能、無油蒸汽污染，同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點，是目前國內(nèi)大抽速的分子泵，動葉輪采用變截面加工，其強度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。

　　渦輪分子泵的性能：

　　泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外，還與氣體種類有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮（或空氣）的壓縮比為108～109；對氫為102～104；對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。

　　泵的極限壓力為10-9Pa，工作壓力范圍為10-1～10-8Pa，抽氣速率為幾十到幾千升每秒（1L=10-3m3）。

　　渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)（氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面大尺寸的流態(tài)）下工作才能顯示出它的*性，因此要求配有工作壓力為1～10-2Pa的前級真空泵。

　　分子泵本身由轉(zhuǎn)速為10000～60000轉(zhuǎn)/分的中頻電動機直聯(lián)驅(qū)動。