提高擴散泵機組的性能質(zhì)量：

　　（1）目前國內(nèi)生擴散泵的廠家較多，型號、尺寸不統(tǒng)一，大泵越作越大，小泵則很少生產(chǎn)。況且對泵的全面性能也沒有考核指標(biāo)。行業(yè)應(yīng)對提高性能和質(zhì)量進(jìn)行定期檢查、組織生產(chǎn)廠家多做改進(jìn)工作，使用戶配套方便。

　?。?）泵在結(jié)構(gòu)方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數(shù)，提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。

　　（3）增加附件。如設(shè)置擋油帽，過熱保護(hù)裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護(hù)。可自動切斷和復(fù)位）。出口壓力的監(jiān)控。

　?。?）規(guī)定油量的醉大值和醉小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質(zhì)情況以便及時更換。

　?。?）給出合適的前級泵的容量。

　?。?）為了節(jié)能加熱功率要可調(diào)，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設(shè)備的運轉(zhuǎn)率。

　　（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，醉好給出對一些氣體的壓縮比（方便用戶選用。

　?。?）用微機控制運行和故障診斷。

　?。?）密封處要選高質(zhì)量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。

　?。?0）給出各種泵的返油率限定值，進(jìn)一步降低返油率，擴大油擴散泵的用途。油擴散泵的工作壓力范圍寬（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少數(shù)部件需要維修，泵內(nèi)無運動部件，工作中可更換加熱器。硅油或聚苯醚的蒸汽壓為10-9~10-10Torr，使用合適的擋板或阱在室溫狀態(tài)下可獲得10-10Torr或更低的壓力。

　　擴散泵機組的缺點是返油問題，加上擋油帽和冷阱及正確操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。