干式螺桿真空泵是主要是利用一對(duì)螺桿，其特點(diǎn)是兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，所以使得干式螺桿真空泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高。但是在我國(guó)使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴。
 

　　干式螺桿真空泵，它利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。它的優(yōu)勢(shì)彌補(bǔ)了油封式真空泵的不足，我們都稱(chēng)之為油封式真空泵的升級(jí)版。但是干式螺桿真空泵的造價(jià)也是它的不足之處。接下來(lái)主要介紹它的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)：
 

　　干式螺桿真空泵的優(yōu)點(diǎn)
 

　　1、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況
 

　　2、氣體在泵內(nèi)無(wú)壓縮，適宜抽取可凝性氣體
 

　　3、不耗油，無(wú)滴漏
 

　　4、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便。
 

　　5、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無(wú)環(huán)保壓力，氣體回收更便捷。
 

　　干式螺桿真空泵的缺點(diǎn)
 

　　1、由于螺桿泵加工難度大，我國(guó)使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴。
 

　　2、不適于抽除含有爆炸性的氣體。
 

　　3、不適于抽除含氧過(guò)高的氣體。
 

　　隨著我國(guó)工業(yè)界的發(fā)展，在半導(dǎo)體工業(yè)、液晶顯示器等工藝制造中，對(duì)清潔真空環(huán)境的要求越來(lái)越高，而傳統(tǒng)的有油真空泵已經(jīng)達(dá)不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)，得到越來(lái)越多制造和應(yīng)用單位的重視，在干式真空泵市場(chǎng)中占有重要的地位。在歐美和日本等發(fā)達(dá)國(guó)家，螺桿型干式真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來(lái)越多的代替了傳統(tǒng)的有油泵。